MULTI-ZONE PEDESTAL HEATER WITHOUT VIAS

A support pedestal is provided that includes a substrate having a top resistive layer defining a first set of zones and a bottom resistive layer defining a second set of zones. Each zone of the first and second set of zones is coupled to at least two electric terminals from among a plurality of elec...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	AMES, Ken, PTASIENSKI, Kevin, SMITH, Kevin, PHILLIPS, Brittany, MARGAVIO, Patrick, NOSRATI, Mohammad, BREITLOW, Staton, ENGLISH, Kurt
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A support pedestal is provided that includes a substrate having a top resistive layer defining a first set of zones and a bottom resistive layer defining a second set of zones. Each zone of the first and second set of zones is coupled to at least two electric terminals from among a plurality of electric terminals, and a total number of electric terminals is less than or equal to a total of the first and second set of zones. La présente invention concerne un socle de support qui comprend un substrat ayant une couche résistive supérieure définissant un premier ensemble de zones et une couche résistive inférieure définissant un second ensemble de zones. Chaque zone du premier et du second ensemble de zones est couplée à au moins deux bornes électriques parmi une pluralité de bornes électriques, et un nombre total de bornes électriques est inférieur ou égal à un total des premier et second ensembles de zones.