ILLUMINATION INTENSITY CORRECTION DEVICE FOR SPECIFYING AN ILLUMINATION INTENSITY OVER AN ILLUMINATION FIELD OF A LITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS

Eine Beleuchtungsintensitäts-Korrekturvorrichtung (24) dient zur Vorgabe einer Beleuchtungsintensität über ein Beleuchtungsfeld (18) einer lithografischen Projektionsbelichtungsanlage. Die Korrekturvorrichtung (24) hat eine Mehrzahl von nebeneinander angeordneten, stabförmigen Einzelblenden (27). Ein Verlagerungsantrieb dient zur Verlagerung mindestens einiger der Einzelblenden (27) zumindest längs ihrer jeweiligen Stabachse (28). Freie Enden der Einzelblenden (27) sind mit Hilfe des Verlagerungsantriebes (29) individuell zur Vorgabe einer längs einer Korrekturdimension (x) quer zu den Stabachsen (28) wirkenden Intensitätskorrektur einer Beleuchtung des Beleuchtungsfeldes (18) in eine vorgegebene Verlagerungsposition verlagerbar. Die Einzelblenden (27) gehören zu mindestens drei Abstands-Blendengruppen (I bis IV) und haben jeweils einen anderen Abstand (aI bis aIV) zu einer Blenden-Referenzebene (16). Letztere ist aufgespannt von einer Stab-Referenzachse (y) parallel zu den Stabachsen (28) und einer Korrektur-Referenzachse (x) längs der Korrekturdimension und gibt eine Anordnungsebene für das Beleuchtungsfeld (18) vor. Es resultiert eine Korrekturvorrichtung mit verbesserter Korrekturgenauigkeit. An illumination intensity correction device (24) serves to specify an illumination intensity over an illumination field (18) of a lithographic projection exposure apparatus. The correction device (24) has a plurality of rod-shaped individual stops (27) that are arranged next to one another. A displacement drive serves to displace at least some of the individual stops (27), at least along their respective rod axis (28). Free ends of the individual stops (27) are individually displaceable into a specified displacement position with the aid of the displacement drive (29) for the purposes of specifying an intensity correction of an illumination of the illumination field (18) that acts along a correction dimension (x) that is transverse to the rod axes (28). The individual stops (27) belong to at least three distance stop groups (I to IV) and each have a different distance (aI to aIV) from a stop reference plane (16). The latter is spanned by a rod reference axis (y) parallel to the rod axes (28) and a correction reference axis (x) along the correction dimension, and it specifies an arrangement plane for the illumination field (18). This results in a correction device with improved correction accuracy. Un dispositif de correction d'intensité d'éclairage (24) sert à pré