ELECTRON BEAM INSPECTION TOOL AND METHOD FOR POSITIONING AN OBJECT TABLE

The invention relates to a particle beam apparatus (1) comprising: a particle beam source (210) configured to generate a particle beam (202); a magnetic coil (2) configured to emit a magnetic field to manipulate the particle beam; an object table 10 configured to hold a substrate (300); a positioning device 20 comprising ferromagnetic material (11), the positioning device further comprising at least one motor (23, 24) configured to position the object table with respect to the particle beam; and a controller (30) configured to provide a control signal to the at least one motor to at least partly compensate for a magnetic force induced by the magnetic field acting on the positioning device. L'invention concerne un appareil à faisceau de particules (1) comprenant : une source de faisceau de particules (210) conçue pour générer un faisceau de particules (202) ; une bobine magnétique (2) conçue pour émettre un champ magnétique afin de manipuler le faisceau de particules ; une table d'objet (10) conçue pour maintenir un substrat (300) ; un dispositif de positionnement (20) comprenant un matériau ferromagnétique (11), le dispositif de positionnement comprenant en outre au moins un moteur (23, 24) conçu pour positionner la table d'objet par rapport au faisceau de particules ; et un dispositif de commande (30) conçu pour fournir un signal de commande au ou aux moteurs pour compenser au moins partiellement une force magnétique induite par le champ magnétique agissant sur le dispositif de positionnement.