SYSTEM AND METHOD FOR MINIMIZING BACKSIDE WORKPIECE DAMAGE

A system and method for minimizing the damage to the backside of a workpiece disposed on a platen during thermal transitions is disclosed. The system includes a controller that modulates the clamping voltage and backside gas pressure during the thermal transition. By modulating the clamping voltage, the workpiece may not be as tightly held to the platen at certain times, thus minimizing damage that may be caused by particles resident on the top surface of the platen. Furthermore, the modulation of the backside gas pressure still permits good thermal conductivity between the platen and the workpiece. L'invention concerne un système et un procédé pour minimiser l'endommagement de la face arrière d'une pièce à travailler disposée sur un plateau pendant des transitions thermiques. Le système comprend un dispositif de commande qui module la tension de serrage et la pression de gaz de face arrière pendant la transition thermique. En modulant la tension de serrage, la pièce à travailler peut ne pas être maintenue étroitement sur le plateau à certains moments, minimisant ainsi les dommages qui peuvent être provoqués par des particules résidant sur la surface supérieure du plateau. En outre, la modulation de la pression de gaz de face arrière permet encore une bonne conductivité thermique entre le plateau et la pièce à travailler.