PLANAR MOTOR SYSTEM, CONTROL DEVICE, AND MOVEMENT METHOD

A planar motor system (10) comprises: a movable element (20) having one or more permanent magnets (22); a stator (30) having a main surface facing the movable element (20), and having a plurality of pattern coils (33) disposed along the main surface; a power supply circuit (40) that supplies power to the plurality of pattern coils (33); and a control device (50) that acquires position information indicating the position of the movable element (20), and outputs a control signal to the power supply circuit (40) on the basis of the acquired position information, thereby moving the movable element (20) along the main surface (31a). La présente invention concerne un système de moteur planaire (10) qui comprend : un élément mobile (20) ayant un ou plusieurs aimants permanents (22) ; un stator (30) ayant une surface principale faisant face à l'élément mobile (20), et ayant une pluralité de bobines à motif (33) disposées le long de la surface principale ; un circuit d'alimentation électrique (40) qui fournit de l'énergie à la pluralité de bobines à motif (33) ; et un dispositif de commande (50) qui acquiert des informations de position indiquant la position de l'élément mobile (20), et qui délivre un signal de commande au circuit d'alimentation électrique (40) sur la base des informations de position acquises, ce qui permet de déplacer l'élément mobile (20) le long de la surface principale (31a). 平面モータシステム（１０）は、１つ以上の永久磁石（２２）を有する可動子（２０）と、可動子（２０）と対向する主面、及び、主面に沿って配置される複数のパターンコイル（３３）を有する固定子（３０）と、複数のパターンコイル（３３）への電力供給を行う電力供給回路（４０）と、可動子（２０）の位置を示す位置情報を取得し、取得された位置情報に基づいて、電力供給回路（４０）へ制御信号を出力することにより可動子（２０）を主面（３１ａ）に沿って移動させる制御装置（５０）とを備える。