LOW PRESSURE PLASMA MODE

A helium plasma characterised by an emission spectrum dominated by the 1s3p 1Ρ1 to 1s2s 1S0 501.5nm transmission line, and a pressure less than 5x10-3 mbar. Methods and apparatus for igniting the plasma, and for using the plasma for pre-ionisation and glow discharge cleaning are also disclosed. Cett...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SHEVCHENKO, Vladimir, BRADLEY, Christian, LOCKLEY, Damian, GRYAZNEVICH, Mikhail
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY FUSION REACTORS NUCLEAR ENGINEERING NUCLEAR PHYSICS PHYSICS PLASMA TECHNIQUE PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A helium plasma characterised by an emission spectrum dominated by the 1s3p 1Ρ1 to 1s2s 1S0 501.5nm transmission line, and a pressure less than 5x10-3 mbar. Methods and apparatus for igniting the plasma, and for using the plasma for pre-ionisation and glow discharge cleaning are also disclosed. Cette invention concerne un plasma d'hélium caractérisé par un spectre d'émission dominé par la raie d'émission 1s3p1Ρ1 à 1s2s1S0 501,5 nm, et une pression inférieure à 5x10-3 mbar. L'invention concerne en outre des procédés et un appareil pour allumer le plasma, et pour utiliser le plasma pour une pré-ionisation et un nettoyage par décharge luminescente.