SELF-ALIGNED EMBEDDED PHASE CHANGE MEMORY CELL
An integrated circuit comprising a self-aligned embedded phase change memory cell is described. In an example, the integrated circuit includes a bottom electrode. A conductive line is above the bottom electrode along a first direction above a substrate. A memory element is coupled between the bottom...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | An integrated circuit comprising a self-aligned embedded phase change memory cell is described. In an example, the integrated circuit includes a bottom electrode. A conductive line is above the bottom electrode along a first direction above a substrate. A memory element is coupled between the bottom electrode and the conductive line, the memory element comprising a phase change material layer that is self-aligned with the conductive line.
La présente invention concerne un circuit intégré comprenant une cellule de mémoire à changement de phase intégrée auto-alignée. Dans un exemple, le circuit intégré comprend une électrode inférieure. Une ligne conductrice est au-dessus de l'électrode inférieure le long d'une première direction au-dessus d'un substrat. Un élément de mémoire est couplé entre l'électrode inférieure et la ligne conductrice, l'élément de mémoire comprenant une couche de matériau à changement de phase qui est auto-alignée avec la ligne conductrice. |
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