SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS, SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND PROGRAM

The present invention is configured to be provided with: a substrate holding tool for holding a variety of multiple substrates including a product substrate and a dummy substrate; a transfer mechanism for loading the variety of substrates to the substrate holding tool; and a control unit that acquires the number of substrates which can be mounted on the substrate holding tool and the number of product substrates to be mounted on the substrate holding tool, divides the product substrates into multiple substrate groups according to the acquired number of product substrates, divides dummy substrates into multiple substrate groups on the basis of the acquired number of product substrates, the number of substrates that can be mounted on the substrate holding tool, and the number of substrate groups of the product substrates, creates substrate arrangement data used when mounting the product substrates on multiple regions of the substrate holding tool in a dispersed manner, by combining the substrate groups of the product substrate and the substrate groups of the dummy substrates, and causes the transfer mechanism to transfer the variety of substrates to the substrate holding tool according to the created substrate arrangement data. La présente invention est configurée pour comprendre: un outil de maintien de substrat pour maintenir une variété de substrats multiples comprenant un substrat de produit et un substrat factice; un mécanisme de transfert pour charger la variété de substrats sur l'outil de maintien de substrat; et une unité de commande qui acquiert le nombre de substrats qui peuvent être montés sur l'outil de maintien de substrat et le nombre de substrats de produit à monter sur l'outil de maintien de substrat, divise les substrats de produit en de multiples groupes de substrats en fonction du nombre acquis de substrats de produit, divise des substrats factices en de multiples groupes de substrats sur la base du nombre acquis de substrats de produit, du nombre de substrats qui peuvent être montés sur l'outil de maintien de substrat, et du nombre de groupes de substrats des substrats de produit, crée des données d'agencement de substrat utilisées lors du montage des substrats de produit sur de multiples régions de l'outil de maintien de substrat d'une manière dispersée, en combinant les groupes de substrats du substrat de produit et les groupes de substrats des substrats factices, et amène le mécanisme de transfert à transférer la variété de substrats v