RF CHIRP REDUCTION IN MZ MODULATOR

A waveguide structure for use in a balanced push-pull Mach Zehnder modulator. The waveguide structure comprises a plurality of layers. The layers comprise, in order: an insulating or semi-insulating substrate; an lower cladding layer; an waveguide core layer; and an upper cladding layer. The lower cladding layer, waveguide core layer, and upper cladding layer are etched to form: a signal waveguide and a ground waveguide, which are connected via the lower cladding layer; and a signal line and a ground line, each located adjacent to the respective waveguide, and each connected to the respective waveguide via one or more respective resistive structures connected in the plane of the lower cladding layer. L'invention concerne une structure de guide d'ondes destinée à être utilisée dans un modulateur de Mach-Zehnder symétrique équilibré. La structure de guide d'ondes comprend une pluralité de couches. Les couches comprennent, dans l'ordre : un substrat isolant ou semi-isolant ; une couche de gainage inférieure ; une couche centrale de guide d'ondes ; et une couche de gainage supérieure. La couche de gainage inférieure, la couche centrale de guide d'ondes et la couche de gainage supérieure sont gravées de manière à former : un guide d'ondes de signal et un guide d'ondes de masse, qui sont connectés par l'intermédiaire de la couche de gainage inférieure ; et une ligne de signal et une ligne de masse, chacune étant adjacente au guide d'ondes respectif, et chacune étant connectée au guide d'ondes respectif par l'intermédiaire d'une ou de plusieurs structures résistives respectives connectées dans le plan de la couche de gainage inférieure.