MAGNETIC FORCE RELEASE FOR SPUTTERING SOURCES WITH MAGNETIC TARGET MATERIALS

A magnet bar assembly for a rotary target cathode comprises a support structure, a magnet bar structure movably attached to the support structure and including a plurality of magnets, and a positioning mechanism operatively coupled to the support structure and the magnet bar structure. The positioning mechanism is configured to move the magnet bar structure between a retracted position and a deployed position while inside a magnetic target material cylinder. The retracted position substantially reduces a magnetic force between the magnets and a magnetic target material of a target cylinder when the magnet bar assembly is inserted into the target cylinder or removed from the target cylinder. The deployed position substantially increases the magnetic force between the magnets and the magnetic target material when the magnet bar assembly is in the target cylinder, and allows a magnetic field from the magnet bar structure to penetrate through the magnetic target material. La présente invention concerne un ensemble barre magnétique pour une cathode cible rotative comprenant une structure de support, une structure de barre magnétique fixée de façon mobile à la structure de support et comprenant une pluralité d'aimants, et un mécanisme de positionnement fonctionnellement couplé à la structure de support et à la structure de barre magnétique. Le mécanisme de positionnement est conçu pour déplacer la structure de barre magnétique entre une position rétractée et une position déployée tout en étant à l'intérieur d'un cylindre de matériau cible magnétique. La position rétractée réduit sensiblement une force magnétique entre les aimants et un matériau cible magnétique d'un cylindre cible lorsque l'ensemble barre magnétique est inséré dans le cylindre cible ou retiré du cylindre cible. La position déployée augmente sensiblement la force magnétique entre les aimants et le matériau cible magnétique lorsque l'ensemble barre magnétique est dans le cylindre cible, et permet à un champ magnétique de la structure de barre magnétique de pénétrer à travers le matériau cible magnétique.