SHOWERHEAD AND PROCESS CHAMBER INCORPORATING SAME

Showerheads and process chambers incorporating same are provided herein. In some embodiments, a showerhead includes a body having a central portion and an outer portion, wherein the outer portion includes an annular wall extending upward from the central portion and a flange extending radially outward from the annular wall; a plurality of apertures disposed through the central portion; an annular stepped portion disposed radially outward of outermost ones of the plurality of apertures and radially inward of the outer portion; a plurality of positioning features arranged about a central axis of the showerhead and formed in a periphery of the outer portion; and a plurality of coupling features arranged about the central axis and formed in the periphery of the outer portion. L'invention concerne des pommes de douche et des chambres de traitement les incorporant. Selon certains modes de réalisation, une pomme de douche comprend un corps comportant une partie centrale et une partie extérieure, la partie extérieure comprenant une paroi annulaire s'étendant vers le haut à partir de la partie centrale et une bride s'étendant radialement vers l'extérieur à partir de la paroi annulaire ; une pluralité d'ouvertures disposées à travers la partie centrale ; une partie étagée annulaire disposée radialement vers l'extérieur des ouvertures les plus extérieures de la pluralité d'ouvertures et radialement vers l'intérieur de la partie extérieure ; une pluralité de caractéristiques de positionnement disposées autour d'un axe central de la pomme de douche et formées dans une périphérie de la partie extérieure ; et une pluralité d'éléments d'accouplement disposés autour de l'axe central et formés dans la périphérie de la partie extérieure.