METHOD AND SYSTEM FOR MOVING A SUBSTRATE

A method and a system for moving a substrate, the system includes a chamber, a chuck, a movement system that is positioned outside the chamber, a controller, an intermediate element, at least one sealing element that is configured to form a dynamic seal between the intermediate element and the chamber housing. The movement system is configured to repeat, for each region of the substrate out of a plurality of regions of the substrate, the steps of: rotating the chuck to position a given portion of the region of the substrate within a field of view that is related to an opening of the chamber housing; and moving the chuck relation to the opening to position additional portions of the region of the substrate within the field of view that is related to the opening. L'invention concerne un procédé et un système pour déplacer un substrat, le système comprenant une chambre, un mandrin, un système de déplacement qui est positionné à l'extérieur de la chambre, un dispositif de commande, un élément intermédiaire, au moins un élément d'étanchéité qui est conçu pour former un joint d'étanchéité dynamique entre l'élément intermédiaire et le boîtier de chambre. Le système de mouvement est configuré pour répéter, pour chaque région du substrat sur une pluralité de régions du substrat, les étapes consistant à : faire tourner le mandrin pour positionner une partie donnée de la région du substrat dans un champ de vision qui est associé à une ouverture du boîtier de chambre ; et à déplacer la relation de mandrin par rapport à l'ouverture pour positionner des parties supplémentaires de la région du substrat dans le champ de vision qui est associé à l'ouverture.