MONOLITHIC CERAMIC GAS DISTRIBUTION PLATE

A monolithic ceramic gas distribution plate for use in a process chamber wherein semiconductor substrates can be processed includes a monolithic ceramic body having an upper surface, a lower surface, and an outer cylindrical surface extending between the upper surface and the lower surface. The lower surface includes first gas outlets at uniformly spaced apart first locations and the first gas outlets are in fluid communication with first gas inlets in the upper surface by a first set of vertically extending through holes connecting the first gas inlets with the first gas outlets. The lower surface also includes second gas outlets at uniformly spaced second locations adjacent the first locations and the second gas outlets are in fluid communication with an inner plenum in the monolithic ceramic body by a second set of vertically extending through holes connecting the second gas outlets with the inner plenum. The inner plenum is in fluid communication with a second gas inlet located in a central portion of the upper surface and the inner plenum is defined by an inner upper wall, an inner lower wall, an inner outer wall, and a set of pillars extending between the inner upper wall and the inner lower wall. Each through hole of the first set of vertically extending through holes passes through a respective one of the pillars to isolate the first and second gases. L'invention concerne une plaque de distribution de gaz céramique monolithique, destinée à être utilisée dans une chambre de traitement dans laquelle des substrats semi-conducteurs peuvent être traités, ladite plaque comprenant un corps céramique monolithique ayant une surface supérieure, une surface inférieure et une surface cylindrique externe s'étendant entre la surface supérieure et la surface inférieure. La surface inférieure comprend des premières sorties de gaz à des premiers emplacements espacés uniformément, et les premières sorties de gaz sont en communication fluidique avec des premières entrées de gaz dans la surface supérieure par un premier ensemble de trous traversants s'étendant verticalement reliant les premières entrées de gaz aux premières sorties de gaz. La surface inférieure comprend également des secondes sorties de gaz à des seconds emplacements espacés uniformément adjacents aux premiers emplacements, et les secondes sorties de gaz sont en communication fluidique avec un plénum interne dans le corps céramique monolithique par un second ensemble de trous traversants s'étendant ve