METHOD OF IDENTIFYING AND TRACKING ROLL TO ROLL POLISHING PAD MATERIALS DURING PROCESSING

Implementations described herein generally relate to methods and apparatus for polishing substrates, more particularly, to methods and apparatus for identifying and/or tracking polishing material in a roll-to-roll polishing system. In one implementation, a method of polishing a substrate is provided. The method comprises advancing a polishing material across a surface of a platen. The polishing material has a polishing surface and an opposing backside surface and the backside surface has a pattern of identifying features formed thereon. The method further comprises sensing the movement of the pattern of identifying features past a detector assembly. The method further comprises controlling a position of the polishing material relative to the platen based on data received from the sensed movement of the pattern of identifying features. Selon des mises en œuvre, la présente invention concerne de manière générale des procédés et un appareil pour polir des substrats, plus particulièrement des procédés et un appareil pour identifier et/ou suivre un matériau de polissage dans un système de polissage rouleau à rouleau. Selon une mise en oeuvre, l'invention concerne un procédé de polissage d'un substrat. Le procédé consiste à faire avancer un matériau de polissage à travers une surface d'une platine. Le matériau de polissage comporte une surface de polissage et une surface arrière opposée et la surface arrière comporte un motif d'éléments d'identification formés sur celle-ci. Le procédé consiste en outre à sélectionner le déplacement du motif d'éléments d'identification au-delà d'un ensemble détecteur. Le procédé consiste en outre à commander une position du matériau de polissage par rapport à la platine sur la base de données reçues du déplacement détecté du motif d'éléments d'identification.