COMPOSITE SHEET FOR PROTECTING FLEXIBLE SUBSTRATE DURING SUCTION

The purpose of the present invention is to provide a composite sheet for protecting a flexible substrate during suction, wherein, when a vacuum exhaust tool is used to perform processes for processing, transporting, and inspecting a flexible substrate, physical damage to the flexible substrate is pr...

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Hauptverfasser: SON, Sang Ho, SHIN, Jang Cheol
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; kor
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creator SON, Sang Ho
SHIN, Jang Cheol
description The purpose of the present invention is to provide a composite sheet for protecting a flexible substrate during suction, wherein, when a vacuum exhaust tool is used to perform processes for processing, transporting, and inspecting a flexible substrate, physical damage to the flexible substrate is prevented effectively such that a flexible substrate having excellent flatness can be obtained. The present invention is characterized by a composite sheet for protecting, during suction, a flexible substrate having an anti-friction sheet bonded to the bottom surface thereof, wherein a buffer sheet having excellent air permeability and restorability is bonded to the bottom surface of the anti-friction sheet such that deformation at the entrance side of the vacuum exhaust passage of the vacuum suction tool can be suppressed or prevented to the largest extent. The present invention is characterized by a composite sheet for protecting, during suction, a flexible substrate having an anti-friction sheet bonded to the bottom surface thereof, wherein a buffer sheet having excellent air permeability and restorability is bonded to the bottom surface of the anti-friction sheet, and a second anti-friction sheet is additionally bonded to the bottom surface of the buffer sheet such that deformation at the entrance side of the vacuum exhaust passage of the vacuum suction tool can be prevented more efficiently. L'objectif de la présente invention est de fournir une feuille composite pour protéger un substrat souple pendant l'aspiration, lorsqu'un outil d'évacuation sous vide est utilisé pour effectuer des processus de traitement, de transport, et d'inspection d'un substrat souple, une détérioration physique du substrat souple étant empêchée efficacement de telle sorte qu'un substrat souple ayant une excellente planéité peut être obtenu. La présente invention est caractérisée par une feuille composite pour protéger, pendant l'aspiration, un substrat souple ayant une feuille anti-frottement liée à la surface inférieure de celui-ci, une feuille tampon ayant une excellente perméabilité à l'air et une excellente aptitude à la restauration étant liée à la surface inférieure de la feuille anti-frottement de telle sorte qu'une déformation au niveau du côté d'entrée du passage d'échappement sous vide de l'outil d'aspiration sous vide peut être supprimée ou empêchée au maximum. La présente invention est caractérisée par une feuille composite pour protéger, pendant l'aspiration, un substra
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The present invention is characterized by a composite sheet for protecting, during suction, a flexible substrate having an anti-friction sheet bonded to the bottom surface thereof, wherein a buffer sheet having excellent air permeability and restorability is bonded to the bottom surface of the anti-friction sheet such that deformation at the entrance side of the vacuum exhaust passage of the vacuum suction tool can be suppressed or prevented to the largest extent. The present invention is characterized by a composite sheet for protecting, during suction, a flexible substrate having an anti-friction sheet bonded to the bottom surface thereof, wherein a buffer sheet having excellent air permeability and restorability is bonded to the bottom surface of the anti-friction sheet, and a second anti-friction sheet is additionally bonded to the bottom surface of the buffer sheet such that deformation at the entrance side of the vacuum exhaust passage of the vacuum suction tool can be prevented more efficiently. L'objectif de la présente invention est de fournir une feuille composite pour protéger un substrat souple pendant l'aspiration, lorsqu'un outil d'évacuation sous vide est utilisé pour effectuer des processus de traitement, de transport, et d'inspection d'un substrat souple, une détérioration physique du substrat souple étant empêchée efficacement de telle sorte qu'un substrat souple ayant une excellente planéité peut être obtenu. La présente invention est caractérisée par une feuille composite pour protéger, pendant l'aspiration, un substrat souple ayant une feuille anti-frottement liée à la surface inférieure de celui-ci, une feuille tampon ayant une excellente perméabilité à l'air et une excellente aptitude à la restauration étant liée à la surface inférieure de la feuille anti-frottement de telle sorte qu'une déformation au niveau du côté d'entrée du passage d'échappement sous vide de l'outil d'aspiration sous vide peut être supprimée ou empêchée au maximum. La présente invention est caractérisée par une feuille composite pour protéger, pendant l'aspiration, un substrat souple ayant une feuille anti-frottement liée à la surface inférieure de celui-ci, une feuille tampon ayant une excellente perméabilité à l'air et une excellente aptitude à la restauration étant liée à la surface inférieure de la feuille anti-frottement, et une seconde feuille anti-frottement est en outre liée à la surface inférieure de la feuille tampon de telle sorte qu'une déformation au niveau du côté d'entrée du passage d'échappement sous vide de l'outil d'aspiration sous vide peut être empêchée de manière plus efficace. 본 발명은 진공배기도구를 이용하여 플렉시블 기판을 가공, 수송, 검사 등의 공정을 수행할 때 플렉시블 기판의 물리적 손상을 효과적으로 방지하여 평탄도가 우수한 플렉시블 기판을 얻을 수 있는 플렉시블 기판의 흡착보호용 복합시트를 제공하려는 것으로서, 저면에 마찰방지시트가 접합된 플렉시블 기판에 있어서, 상기 마찰방지시트의 저면에 공기투과성과 복원력이 우수한 완충시트를 접합하여 진공흡착도구의 진공배기통로 입구측에서의 변형이 극력 억제 내지 방지할 수 있게 한 플렉시블 기판의 흡착보호용 복합시트; 저면에 마찰방지시트가 접합된 플렉시블 기판에 있어서, 상기 마찰방지시트의 저면에 공기투과성과 복원력이 우수한 완충시트를 접합하고, 완충시트의 저면에 제2 마찰방지시트를 추가 접합하여 진공흡착도구의 진공배기통로 입구측에서의 변형을 더욱 효과적으로 방지할 수 있게 한 플렉시블 기판의 흡착보호용 복합시트를 특징으로 한다.</description><language>eng ; fre ; kor</language><subject>CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS ; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ; ELECTRICITY ; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS ; PRINTED CIRCUITS</subject><creationdate>2019</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20190131&amp;DB=EPODOC&amp;CC=WO&amp;NR=2019022293A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,776,881,25543,76293</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20190131&amp;DB=EPODOC&amp;CC=WO&amp;NR=2019022293A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>SON, Sang Ho</creatorcontrib><creatorcontrib>SHIN, Jang Cheol</creatorcontrib><title>COMPOSITE SHEET FOR PROTECTING FLEXIBLE SUBSTRATE DURING SUCTION</title><description>The purpose of the present invention is to provide a composite sheet for protecting a flexible substrate during suction, wherein, when a vacuum exhaust tool is used to perform processes for processing, transporting, and inspecting a flexible substrate, physical damage to the flexible substrate is prevented effectively such that a flexible substrate having excellent flatness can be obtained. The present invention is characterized by a composite sheet for protecting, during suction, a flexible substrate having an anti-friction sheet bonded to the bottom surface thereof, wherein a buffer sheet having excellent air permeability and restorability is bonded to the bottom surface of the anti-friction sheet such that deformation at the entrance side of the vacuum exhaust passage of the vacuum suction tool can be suppressed or prevented to the largest extent. The present invention is characterized by a composite sheet for protecting, during suction, a flexible substrate having an anti-friction sheet bonded to the bottom surface thereof, wherein a buffer sheet having excellent air permeability and restorability is bonded to the bottom surface of the anti-friction sheet, and a second anti-friction sheet is additionally bonded to the bottom surface of the buffer sheet such that deformation at the entrance side of the vacuum exhaust passage of the vacuum suction tool can be prevented more efficiently. L'objectif de la présente invention est de fournir une feuille composite pour protéger un substrat souple pendant l'aspiration, lorsqu'un outil d'évacuation sous vide est utilisé pour effectuer des processus de traitement, de transport, et d'inspection d'un substrat souple, une détérioration physique du substrat souple étant empêchée efficacement de telle sorte qu'un substrat souple ayant une excellente planéité peut être obtenu. La présente invention est caractérisée par une feuille composite pour protéger, pendant l'aspiration, un substrat souple ayant une feuille anti-frottement liée à la surface inférieure de celui-ci, une feuille tampon ayant une excellente perméabilité à l'air et une excellente aptitude à la restauration étant liée à la surface inférieure de la feuille anti-frottement de telle sorte qu'une déformation au niveau du côté d'entrée du passage d'échappement sous vide de l'outil d'aspiration sous vide peut être supprimée ou empêchée au maximum. La présente invention est caractérisée par une feuille composite pour protéger, pendant l'aspiration, un substrat souple ayant une feuille anti-frottement liée à la surface inférieure de celui-ci, une feuille tampon ayant une excellente perméabilité à l'air et une excellente aptitude à la restauration étant liée à la surface inférieure de la feuille anti-frottement, et une seconde feuille anti-frottement est en outre liée à la surface inférieure de la feuille tampon de telle sorte qu'une déformation au niveau du côté d'entrée du passage d'échappement sous vide de l'outil d'aspiration sous vide peut être empêchée de manière plus efficace. 본 발명은 진공배기도구를 이용하여 플렉시블 기판을 가공, 수송, 검사 등의 공정을 수행할 때 플렉시블 기판의 물리적 손상을 효과적으로 방지하여 평탄도가 우수한 플렉시블 기판을 얻을 수 있는 플렉시블 기판의 흡착보호용 복합시트를 제공하려는 것으로서, 저면에 마찰방지시트가 접합된 플렉시블 기판에 있어서, 상기 마찰방지시트의 저면에 공기투과성과 복원력이 우수한 완충시트를 접합하여 진공흡착도구의 진공배기통로 입구측에서의 변형이 극력 억제 내지 방지할 수 있게 한 플렉시블 기판의 흡착보호용 복합시트; 저면에 마찰방지시트가 접합된 플렉시블 기판에 있어서, 상기 마찰방지시트의 저면에 공기투과성과 복원력이 우수한 완충시트를 접합하고, 완충시트의 저면에 제2 마찰방지시트를 추가 접합하여 진공흡착도구의 진공배기통로 입구측에서의 변형을 더욱 효과적으로 방지할 수 있게 한 플렉시블 기판의 흡착보호용 복합시트를 특징으로 한다.</description><subject>CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS</subject><subject>ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</subject><subject>ELECTRICITY</subject><subject>MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS</subject><subject>PRINTED CIRCUITS</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2019</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZHBw9vcN8A_2DHFVCPZwdQ1RcPMPUggI8g9xdQ7x9HNXcPNxjfB08gHKhjoFhwQ5AtW5hAaBZIJDgSr8_XgYWNMSc4pTeaE0N4Oym2uIs4duakF-fGpxQWJyal5qSXy4v5GBoaWBkZGRpbGjoTFxqgCIoiv7</recordid><startdate>20190131</startdate><enddate>20190131</enddate><creator>SON, Sang Ho</creator><creator>SHIN, Jang Cheol</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20190131</creationdate><title>COMPOSITE SHEET FOR PROTECTING FLEXIBLE SUBSTRATE DURING SUCTION</title><author>SON, Sang Ho ; SHIN, Jang Cheol</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_WO2019022293A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre ; kor</language><creationdate>2019</creationdate><topic>CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS</topic><topic>ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</topic><topic>ELECTRICITY</topic><topic>MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS</topic><topic>PRINTED CIRCUITS</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>SON, Sang Ho</creatorcontrib><creatorcontrib>SHIN, Jang Cheol</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>SON, Sang Ho</au><au>SHIN, Jang Cheol</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>COMPOSITE SHEET FOR PROTECTING FLEXIBLE SUBSTRATE DURING SUCTION</title><date>2019-01-31</date><risdate>2019</risdate><abstract>The purpose of the present invention is to provide a composite sheet for protecting a flexible substrate during suction, wherein, when a vacuum exhaust tool is used to perform processes for processing, transporting, and inspecting a flexible substrate, physical damage to the flexible substrate is prevented effectively such that a flexible substrate having excellent flatness can be obtained. The present invention is characterized by a composite sheet for protecting, during suction, a flexible substrate having an anti-friction sheet bonded to the bottom surface thereof, wherein a buffer sheet having excellent air permeability and restorability is bonded to the bottom surface of the anti-friction sheet such that deformation at the entrance side of the vacuum exhaust passage of the vacuum suction tool can be suppressed or prevented to the largest extent. The present invention is characterized by a composite sheet for protecting, during suction, a flexible substrate having an anti-friction sheet bonded to the bottom surface thereof, wherein a buffer sheet having excellent air permeability and restorability is bonded to the bottom surface of the anti-friction sheet, and a second anti-friction sheet is additionally bonded to the bottom surface of the buffer sheet such that deformation at the entrance side of the vacuum exhaust passage of the vacuum suction tool can be prevented more efficiently. L'objectif de la présente invention est de fournir une feuille composite pour protéger un substrat souple pendant l'aspiration, lorsqu'un outil d'évacuation sous vide est utilisé pour effectuer des processus de traitement, de transport, et d'inspection d'un substrat souple, une détérioration physique du substrat souple étant empêchée efficacement de telle sorte qu'un substrat souple ayant une excellente planéité peut être obtenu. La présente invention est caractérisée par une feuille composite pour protéger, pendant l'aspiration, un substrat souple ayant une feuille anti-frottement liée à la surface inférieure de celui-ci, une feuille tampon ayant une excellente perméabilité à l'air et une excellente aptitude à la restauration étant liée à la surface inférieure de la feuille anti-frottement de telle sorte qu'une déformation au niveau du côté d'entrée du passage d'échappement sous vide de l'outil d'aspiration sous vide peut être supprimée ou empêchée au maximum. La présente invention est caractérisée par une feuille composite pour protéger, pendant l'aspiration, un substrat souple ayant une feuille anti-frottement liée à la surface inférieure de celui-ci, une feuille tampon ayant une excellente perméabilité à l'air et une excellente aptitude à la restauration étant liée à la surface inférieure de la feuille anti-frottement, et une seconde feuille anti-frottement est en outre liée à la surface inférieure de la feuille tampon de telle sorte qu'une déformation au niveau du côté d'entrée du passage d'échappement sous vide de l'outil d'aspiration sous vide peut être empêchée de manière plus efficace. 본 발명은 진공배기도구를 이용하여 플렉시블 기판을 가공, 수송, 검사 등의 공정을 수행할 때 플렉시블 기판의 물리적 손상을 효과적으로 방지하여 평탄도가 우수한 플렉시블 기판을 얻을 수 있는 플렉시블 기판의 흡착보호용 복합시트를 제공하려는 것으로서, 저면에 마찰방지시트가 접합된 플렉시블 기판에 있어서, 상기 마찰방지시트의 저면에 공기투과성과 복원력이 우수한 완충시트를 접합하여 진공흡착도구의 진공배기통로 입구측에서의 변형이 극력 억제 내지 방지할 수 있게 한 플렉시블 기판의 흡착보호용 복합시트; 저면에 마찰방지시트가 접합된 플렉시블 기판에 있어서, 상기 마찰방지시트의 저면에 공기투과성과 복원력이 우수한 완충시트를 접합하고, 완충시트의 저면에 제2 마찰방지시트를 추가 접합하여 진공흡착도구의 진공배기통로 입구측에서의 변형을 더욱 효과적으로 방지할 수 있게 한 플렉시블 기판의 흡착보호용 복합시트를 특징으로 한다.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record>
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