COMPOSITE SHEET FOR PROTECTING FLEXIBLE SUBSTRATE DURING SUCTION

The purpose of the present invention is to provide a composite sheet for protecting a flexible substrate during suction, wherein, when a vacuum exhaust tool is used to perform processes for processing, transporting, and inspecting a flexible substrate, physical damage to the flexible substrate is prevented effectively such that a flexible substrate having excellent flatness can be obtained. The present invention is characterized by a composite sheet for protecting, during suction, a flexible substrate having an anti-friction sheet bonded to the bottom surface thereof, wherein a buffer sheet having excellent air permeability and restorability is bonded to the bottom surface of the anti-friction sheet such that deformation at the entrance side of the vacuum exhaust passage of the vacuum suction tool can be suppressed or prevented to the largest extent. The present invention is characterized by a composite sheet for protecting, during suction, a flexible substrate having an anti-friction sheet bonded to the bottom surface thereof, wherein a buffer sheet having excellent air permeability and restorability is bonded to the bottom surface of the anti-friction sheet, and a second anti-friction sheet is additionally bonded to the bottom surface of the buffer sheet such that deformation at the entrance side of the vacuum exhaust passage of the vacuum suction tool can be prevented more efficiently. L'objectif de la présente invention est de fournir une feuille composite pour protéger un substrat souple pendant l'aspiration, lorsqu'un outil d'évacuation sous vide est utilisé pour effectuer des processus de traitement, de transport, et d'inspection d'un substrat souple, une détérioration physique du substrat souple étant empêchée efficacement de telle sorte qu'un substrat souple ayant une excellente planéité peut être obtenu. La présente invention est caractérisée par une feuille composite pour protéger, pendant l'aspiration, un substrat souple ayant une feuille anti-frottement liée à la surface inférieure de celui-ci, une feuille tampon ayant une excellente perméabilité à l'air et une excellente aptitude à la restauration étant liée à la surface inférieure de la feuille anti-frottement de telle sorte qu'une déformation au niveau du côté d'entrée du passage d'échappement sous vide de l'outil d'aspiration sous vide peut être supprimée ou empêchée au maximum. La présente invention est caractérisée par une feuille composite pour protéger, pendant l'aspiration, un substra