APPARATUS FOR AND METHOD OF SENSING FLUORINE CONCENTRATION

Embodiments of the invention relate to apparatuses and methods for and method of measuring the concentration of F2 in the laser gas used in an excimer laser. In one or more embodiments, Quartz Enhanced Photoacoustic Spectroscopy is used to obtain a direct measurement of F2 concentration quickly and...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	DUFFEY, Thomas Patrick
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Embodiments of the invention relate to apparatuses and methods for and method of measuring the concentration of F2 in the laser gas used in an excimer laser. In one or more embodiments, Quartz Enhanced Photoacoustic Spectroscopy is used to obtain a direct measurement of F2 concentration quickly and using only a small sample volume. Des modes de réalisation de l'invention concernent des appareils et des procédés permettant de mesurer la concentration en F2 dans le gaz laser utilisé dans un laser à excimère. Dans au moins un mode de réalisation, une spectroscopie photoacoustique renforcée par quartz est utilisée pour l'obtention d'une mesure directe de la concentration de F2 de façon rapide et à l'aide seulement d'un petit volume d'échantillon.