BROAD BAND PLASMA INSPECTION BASED ON A NUISANCE MAP

A noise map is used for defect detection. One or more measurements of intensities at one or more pixels are received and an intensity statistic is determined for each measurement. The intensity statistics are grouped into at least one region and stored with at least one alignment target. A wafer can...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	VEMAREDDY, Kaushik, PERALI, Pavan Kumar, SUMAN, Shishir
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	A noise map is used for defect detection. One or more measurements of intensities at one or more pixels are received and an intensity statistic is determined for each measurement. The intensity statistics are grouped into at least one region and stored with at least one alignment target. A wafer can be inspected with a wafer inspection tool using the noise map. The noise map can be used as a segmentation mask to suppress noise. Selon l'invention, une carte de bruit est utilisée pour la détection de défauts. Une ou plusieurs mesures d'intensités au niveau d'un ou de plusieurs pixels sont reçues et une statistique d'intensité est déterminée pour chaque mesure. Les statistiques d'intensité sont regroupées en au moins une zone et stockées avec au moins une cible d'alignement. Une tranche peut être inspectée à l'aide d'un outil d'inspection de tranche utilisant la carte de bruit. La carte de bruit peut être utilisée comme masque de segmentation pour supprimer le bruit.