NON-WELDED FILTER
Embodiments of the present invention include systems and methods for providing a filter (100) that is sealed solely with mechanical forces. The filter may be a high pressure filter used in semiconductor manufacturing. In various embodiments, the filter includes a housing (101) with an angled end (11...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Embodiments of the present invention include systems and methods for providing a filter (100) that is sealed solely with mechanical forces. The filter may be a high pressure filter used in semiconductor manufacturing. In various embodiments, the filter includes a housing (101) with an angled end (115, 116) and a filter element (105) disposed inside the housing. The filter further includes a fluid fitting (120, 121) with an angled side. The angled side of the fitting has a different angle than the angled end of the housing. The filter also includes a compression collar (130, 131) fitted over the housing to compress the housing and the fitting. The result is a filter that may be used as a high-pressure fluid restrictor. The filter uses only mechanical seals to provide leak-proof highly filtered fluids in which impurities, contaminants and particulates are removed.
Des modes de réalisation de la présente invention comprennent des systèmes et des procédés pour fournir un filtre (100) qui est scellé uniquement avec des forces mécaniques. Le filtre peut être un filtre haute pression utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Dans divers modes de réalisation, le filtre comprend un boîtier (101) ayant une extrémité inclinée (115, 116) et un élément filtrant (105) disposé à l'intérieur du boîtier. Le filtre comprend en outre un raccord de fluide (120, 121) avec un côté incliné. Le côté incliné du raccord a un angle différent de celui de l'extrémité inclinée du boîtier. Le filtre comprend également un collier de compression (130, 131) monté sur le boîtier pour comprimer le boîtier et le raccord. Le résultat est un filtre qui peut être utilisé comme réducteur de fluide à haute pression. Le filtre utilise uniquement des joints mécaniques pour fournir des fluides hautement filtrés résistant aux fuites dans lesquels des impuretés, des contaminants et des particules sont éliminés. |
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