TESTING SYSTEM

This testing system comprises: a test module having a plurality of testing chambers, each accommodating a tester unit having a tester and a probe card for performing an electric test of a test body; an aligner module performing alignment between the test body and the tester unit; an alignment area a...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: UCHIDA Shin, SHIKAGAWA Hiroki, JIANG Xingjun, ENDO Tomoya, YAMADA Hiroshi, KAGAMI Tetsuya, FUJIHARA Jun, KONISHI Kentarou, OZAWA Rika, NARIKAWA Kenichi, MURATA Yukinori, HAYASHI Hiroaki, SUGIYAMA Katsuaki, HYAKUDOMI Takanori
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:This testing system comprises: a test module having a plurality of testing chambers, each accommodating a tester unit having a tester and a probe card for performing an electric test of a test body; an aligner module performing alignment between the test body and the tester unit; an alignment area accommodating the aligner module; and a rotor unit transporting the test body into and out of the alignment area. The plurality of test modules is installed so as to be adjacent to the alignment area. La présente invention concerne un système de test comprenant : un module de test ayant une pluralité de chambres de test, chacune recevant une unité de test ayant un testeur et une carte de sonde pour effectuer un test électrique d'un corps de test ; un module d'alignement réalisant un alignement entre le corps de test et l'unité de test ; une zone d'alignement recevant le module d'alignement ; et une unité de rotor transportant le corps de test dans et hors de la zone d'alignement. La pluralité de modules de test est installée de manière à être adjacente à la zone d'alignement. 検査システムは、被検査体の電気的検査を行うためのテスタとプローブカードとを有するテスタ部が収容される検査室を複数段有する検査モジュールと、被検査体とテスタ部のアライメントを行うアライナーモジュールと、アライナーモジュールを収容するアライメントエリアと、被検査体をアライメントエリアに搬入出するローダ部とを有し、複数の検査モジュールは、アライメントエリアに隣接して設けられている。