LASER PRODUCED PLASMA SOURCE

A seed laser module for a laser produced plasma source, the seed laser module comprising: a pulsed laser source configured to emit source radiation pulses at a pulse repetition rate; a sub-system configured to provide an electric signal; an electro-optic modulator coupled to the sub-system and configured to receive the source radiation pulses and to emit shaped radiation pulses under control of the electric signal; and wherein the electric signal comprises gating pulses at the pulse repetition rate in phase with the source radiation pulses and one or more secondary pulses between successive ones of the gating pulses. L'invention concerne un module laser germe pour une source de plasma produit par laser, le module laser germe comprenant : une source de laser pulsée configurée pour émettre des impulsions de rayonnement source à une fréquence de répétition d'impulsions ; un sous-système configuré pour fournir un signal électrique ; un modulateur électro-optique accouplé au sous-système et configuré pour recevoir les impulsions de rayonnement source et pour émettre des impulsions de rayonnement mises en forme sous la commande du signal électrique ; et le signal électrique comprenant des impulsions de déclenchement à la fréquence de répétition d'impulsions en phase avec les impulsions de rayonnement source et une ou plusieurs impulsions secondaires entre des impulsions de déclenchement successives.