MEMS DEVICES AND PROCESSES

The application describes MEMS devices and associated methods of fabrication. The MEMS devices comprise a filter configured and arranged to inhibit the entry of particles into at least a region of the interior of the substrate cavity from a region underlying the substrate. La présente invention conc...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	PIECHOCINSKI, Marek Sebastian
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	DEAF-AID SETS ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE ELECTRICITY LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	The application describes MEMS devices and associated methods of fabrication. The MEMS devices comprise a filter configured and arranged to inhibit the entry of particles into at least a region of the interior of the substrate cavity from a region underlying the substrate. La présente invention concerne des dispositifs MEMS et des procédés de fabrication associés. Les dispositifs MEMS comprennent un filtre configuré et agencé pour empêcher l'entrée de particules dans au moins une région à l'intérieur de la cavité de substrat à partir d'une région sous-jacente au substrat.