ANALYSIS OF MATERIAL LAYERS ON SURFACES, AND RELATED SYSTEMS AND METHODS

Method of analyzing film on a substrate comprises receiving three-dimensional data obtained from measurements of a plurality of pixels on a substrate, the plurality of pixels comprising film layers; extracting a plurality of parameters based on the received three-dimensional data, the plurality of parameters comprising at least an average thickness for the film layers of the pixels, area aperture ratios for the film layers of the pixels, and a pitch between pixels, wherein the extraction is based on a predetermined pattern for the pixels on the substrate; displaying a user interface comprising a graphical representation of parameters for the film layers of the pixels; and dynamically modifying the graphical representation of the parameters in response to user input of the displayed user interface, the dynamically modifying causing the displayed graphical images to appear as continuously changing. Un procédé d'analyse d'un film sur un substrat comprend la réception de données tridimensionnelles obtenues à partir de mesures d'une pluralité de pixels sur un substrat, la pluralité de pixels comprenant des couches de film; l'extraction d'une pluralité de paramètres sur la base des données tridimensionnelles reçues, la pluralité de paramètres comprenant au moins une épaisseur moyenne pour les couches de film des pixels, des rapports d'ouverture de zone pour les couches de film des pixels, et un écartement entre les pixels, laquelle extraction est basée sur un motif prédéterminé pour les pixels sur le substrat; l'affichage d'une interface utilisateur comprenant une représentation graphique des paramètres pour les couches de film des pixels; et la modification dynamique de la représentation graphique des paramètres en réponse à une entrée d'utilisateur de l'interface utilisateur affichée, la modification dynamique amenant les images graphiques affichées à apparaître comme changeant continuellement.