SYMMETRIC AND IRREGULAR SHAPED PLASMAS USING MODULAR MICROWAVE SOURCES

Embodiments include a plasma processing tool that includes a processing chamber, and a plurality of modular microwave sources coupled to the processing chamber. In an embodiment, the plurality of modular microwave sources include an array of applicators that are positioned over a dielectric body that forms a portion of an outer wall of the processing chamber. The array of applicators may be coupled to the dielectric body. Additionally, the plurality of modular microwave sources may include an array of microwave amplification modules. In an embodiment, each microwave amplification module may be coupled to at least one of the applicators in the array of applicators. According to an embodiment, the dielectric body be planar, non-planar, symmetric, or non-symmetric. In yet another embodiment, the dielectric body may include a plurality of recesses. In such an embodiment, at least one applicator may be positioned in at least one of the recesses. Des modes de réalisation selon l'invention comprennent un outil de traitement au plasma qui comprend une chambre de traitement, et une pluralité de sources de micro-ondes modulaires couplées à la chambre de traitement. Dans un mode de réalisation, la pluralité de sources de micro-ondes modulaires comprend un réseau d'applicateurs qui sont positionnés sur un corps diélectrique qui forme une partie d'une paroi externe de la chambre de traitement. Le réseau d'applicateurs peut être couplé au corps diélectrique. De plus, la pluralité de sources de micro-ondes modulaires peut comprendre un réseau de modules d'amplification de micro-ondes. Dans un mode de réalisation, chaque module d'amplification de micro-ondes peut être couplé à au moins l'un des applicateurs du réseau d'applicateurs. Selon un mode de réalisation, le corps diélectrique peut être plan, non plan, symétrique ou asymétrique. Dans encore un autre mode de réalisation, le corps diélectrique peut comprendre une pluralité d'évidements. Dans un tel mode de réalisation, au moins un applicateur peut être positionné dans au moins l'un des évidements.