SYSTEMS AND METHODS FOR REAL TIME MEASUREMENT OF SURFACE CURVATURE AND THERMAL EXPANSION OF SMALL SAMPLES

Systems and methods for measuring a curvature radius of a sample. The methods comprise: emitting a light beam from a laser source in a direction towards a beam expander; expanding a size of the light beam emitted from the laser source to create a broad laser beam; reflecting the broad laser beam off...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: LI, Xiuyan, GUSTAFSSON, Torgny, GARFUNKEL, Eric, ERMAKOV, Alexei, FELDMAN, Leonard
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:Systems and methods for measuring a curvature radius of a sample. The methods comprise: emitting a light beam from a laser source in a direction towards a beam expander; expanding a size of the light beam emitted from the laser source to create a broad laser beam; reflecting the broad laser beam off of a curved surface of the sample; creating a plurality of non- parallel laser beams by passing the reflected broad laser beam through a grating mask or a biprism; using the plurality of non-parallel laser beams to create an interference pattern at a camera image sensor; capturing a first image by the camera image sensor; and processing the first image by an image processing device to determine the curvature radius of the sample. L'invention concerne des systèmes et des procédés permettant de mesurer un rayon de courbure d'un échantillon. Les procédés consistent à : émettre un faisceau lumineux à partir d'une source laser en direction d'un dilatateur de faisceau; étendre une taille du faisceau lumineux émis par la source laser pour créer un faisceau laser large; réfléchir le faisceau laser large hors d'une surface incurvée de l'échantillon; créer une pluralité de faisceaux laser non parallèles en faisant passer le faisceau laser large réfléchi à travers un masque de réseau ou un biprisme; utiliser la pluralité de faisceaux laser non parallèles pour créer un motif d'interférence au niveau d'un capteur d'image de caméra; capturer une première image par le capteur d'image de caméra; et traiter la première image par un dispositif de traitement d'image pour déterminer le rayon de courbure de l'échantillon.