METHOD FOR DETERMINING THE PARTIAL PRESSURE OR A CONCENTRATION OF A VAPOUR

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung des Partialdrucks oder der Konzentration eines Dampfes in einem Volumen (2), wobei eine Sensoroberfläche (6) eines mit einer Oszillationsfrequenz oszillierenden Sensorkörpers (5) auf eine Temperatur temperiert wird, bei der der Dampf unter Ausbildung einer stetig anwachsenden, die Oszillationsfrequenz beeinflussenden Massenanhäufung auf der Sensoroberfläche (6) kondensiert. Zur Erhöhung der Stand¬ zeit wird vorgeschlagen, dass die Temperatur so gewählt ist, dass beim Unter- schreiten eines Grenzpartialdrucks oder einer Grenzkonzentration des Dampfes im Volumen (2) die Massenanhäufung abnimmt. Die Massenänderung für die Zeit (t1) eines Prozessschrittes, in dem der Dampf durch die Transportleitung (1) strömt oder sich im Volumen (2) befindet, wächst an und nimmt in einer Prozesspause (t2) zwischen zwei Prozessschritten, in der kein Dampf durch die Transportleitung (1) strömt oder sich im Volumen (2) befindet, bis auf Null ab. The invention relates to a method for determining the partial pressure or concentration of a vapour in a volume (2), a sensor surface (6) of a sensor body (5) oscillating with an oscillation frequency being kept at a temperature at which the vapour condenses on the sensor surface (6), forming a constantly growing mass accumulation that affects the oscillation frequency. In order to increase the service life, according to the invention, the temperature is chosen such that when a limit partial pressure or a limit concentration of the vapour in the volume (2) is not reached, the mass accumulation decreases. The mass change increases for the period (t1) of a process step, in which the vapour flows through the transport conduit (1) or is present in the volume (2), and decreases to zero in a process pause (t2) between two process steps, in which pause no vapour flows through the transport conduit (1) or is present in the volume (2). L'invention concerne un procédé de détermination de la pression partielle ou d'une concentration d'une vapeur dans un volume (2), une surface de capteur (6) d'un corps de capteur (5) oscillant à une fréquence d'oscillation étant mis à une température à laquelle la vapeur, en formant une accumulation de masse à augmentation constante, qui influence la fréquence d'oscillation, se condense sur la surface du capteur (6). Selon l'invention, afin d'augmenter la durée de vie, la température est sélectionnée de telle sorte que lors de la diminution de la pression partiel