ELECTROSTATIC ELEMENT HAVING GROOVED EXTERIOR SURFACE

Provided herein are approaches for increasing surface area of a conductive beam optic by providing grooves or surface features thereon. In one approach, the conductive beam optic may be part of an electrostatic filter having a plurality of conductive beam optics disposed along an ion beam-line, wherein at least one conductive beam optic includes a plurality of grooves formed in an exterior surface. In some approaches, a power supply may be provided in communication with the plurality of conductive beam optics, wherein the power supply is configured to supply a voltage and a current to the plurality of conductive beam optics. The plurality of grooves may be provided in a spiral pattern along a length of the conductive beam optic, and/or oriented parallel to a lengthwise axis of the conductive beam optic. L'invention concerne des approches pour l'augmentation de la surface d'une optique à faisceaux conducteurs en créant des rainures ou d'autres caractéristiques de surface sur celles-ci. Selon une approche, l'optique à faisceaux conducteurs peut faire partie d'un filtre électrostatique ayant une pluralité d'optiques à faisceaux conducteurs disposées le long d'une ligne de faisceau d'ions, au moins une optique à faisceaux conducteurs comprenant une pluralité de rainures formées dans la surface extérieure. Dans certaines approches, une alimentation électrique peut être fournie en communication avec la pluralité d'optiques à faisceaux conducteurs, l'alimentation électrique étant conçue pour fournir une tension et un courant à la pluralité d'optiques à faisceaux conducteurs. La pluralité de rainures peut être disposée en forme de spirale le long d'une longueur de l'optique à faisceaux conducteurs, et/ou orientée parallèlement à un axe longitudinal de l'optique à faisceaux conducteurs.