PROBE STRUCTURE AND METHOD FOR PRODUCING PROBE STRUCTURE
This probe structure 1 is provided with: a holding plate 2 which has a first surface 21 and a second surface 22, and wherein at least the first surface 21 is insulated; a plurality of electrodes 3 which are formed on the first surface 21 of the holding plate 2 in such a manner that the plurality of...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; jpn |
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Zusammenfassung: | This probe structure 1 is provided with: a holding plate 2 which has a first surface 21 and a second surface 22, and wherein at least the first surface 21 is insulated; a plurality of electrodes 3 which are formed on the first surface 21 of the holding plate 2 in such a manner that the plurality of electrodes 3 are separated from each other; and carbon nanotube structures 4 which are provided on the electrodes 3 in such a manner that the carbon nanotube structures 4 stand upright thereon. The holding plate 2 is provided with through holes 24 which correspond to the electrodes 3, respectively.
L'invention concerne une structure de sonde (1) comprenant : une plaque de maintien (2) présentant une première surface (21) et une seconde surface (22), et au moins la première surface (21) étant isolée ; une pluralité d'électrodes (3) formées sur la première surface (21) de la plaque de maintien (2) de telle sorte que la pluralité d'électrodes (3) sont séparées les unes des autres ; et des structures de nanotubes de carbone (4) situées sur les électrodes (3) de telle sorte que les structures de nanotubes de carbone (4) sont redressées sur ces dernières. La plaque de maintien (2) comprend des trous traversants (24) correspondant aux électrodes (3), respectivement.
プローブ構造体1は、第一面21と第二面22とを有し、少なくとも前記第一面21が絶縁された保持板2と、当該保持板2の第一面21に、互いに分離した状態で形成された複数の電極3と、当該電極3上に立設されたカーボンナノチューブ構造体4とを備え、前記保持板2には、前記各電極3と対応する貫通孔24が形成されている。 |
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