HARD CARBON FILM, MANUFACTURING METHOD FOR SAME, AND SLIDING MEMBER

The purpose of the present invention is to provide technology for manufacturing a hard carbon film that effectively inhibits occurrences of abrasive wear and has greatly reduced coefficient of friction while maintaining abrasion resistance and seizing resistance without inviting reductions in productivity and increased costs in a sliding member used in lubricating oil that includes MoDTC. Provided is a hard carbon film configured such that a second hard carbon film is a laminated on a first hard carbon film, the second hard carbon film has a lower hardness than the first hard carbon film, and a plurality of protruding shapes are formed on the first hard carbon film so as to protrude toward the second hard carbon film. Also provided is a manufacturing method for a hard carbon film that includes a step for forming the first hard carbon film while growing the plurality of protruding shapes on the surface using arc ion plating and a step for forming the second hard carbon film with a lower hardness than the first hard carbon film using CVD or sputtering. Le but de la présente invention est de fournir une technologie de fabrication d'un film de carbone dur qui empêche efficacement l'apparition d'une usure abrasive et qui présente un coefficient de frottement considérablement réduit, tout en conservant une résistance à l'abrasion et au grippage sans perte de productivité ni hausse des coûts, dans un élément coulissant utilisé avec une huile lubrifiante qui comprend du MoDTC. L'invention concerne un film de carbone dur conçu de telle sorte qu'un second film de carbone dur est stratifié sur un premier film de carbone dur, le second film de carbone dur ayant une dureté inférieure à celle du premier film de carbone dur, et une pluralité de formes saillantes étant formées sur le premier film de carbone dur de façon à faire saillie en direction du second film de carbone dur. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un film de carbone dur qui comprend : une étape consistant à former le premier film de carbone dur tout en faisant croître la pluralité de formes saillantes sur la surface par placage ionique à l'arc ; une étape consistant à former le second film de carbone dur d'une dureté inférieure à celle du premier film de carbone dur par dépôt chimique en phase vapeur ou pulvérisation cathodique. ＭｏＤＴＣ含有潤滑油中で使用される摺動部材において、耐摩耗性や耐焼き付き性を維持しながら、アブレーシブ摩耗の発生を効果的に抑制すると共に、大幅に摩擦係数が低下された硬質炭素膜を、生産性を低下させることなくコストアップを招くことなく製造する硬質炭素膜の製造技術を提供する。 第１の硬質炭素膜の上に第２の硬質炭素膜が