INSPECTION AND METROLOGY USING BROADBAND INFRARED RADIATION

Systems and methods for measuring or inspecting semiconductor structures using broadband infrared radiation are disclosed. The system may include an illumination source comprising a pump source configured to generate pump light and a nonlinear optical (NLO) assembly configured to generate broadband IR radiation in response to the pump light. The system may also include a detector assembly and a set of optics configured to direct the IR radiation onto a sample and direct a portion of the IR radiation reflected and/or scattered from the sample to the detector assembly. L'invention concerne des systèmes et des procédés de mesure ou d'inspection de structures semi-conductrices par un rayonnement infrarouge à large bande. Le système peut inclure une source d'éclairage comprenant une source de pompe servant à générer de la lumière de pompage et un ensemble optique non linéaire (NLO) servant à générer un rayonnement IR à large bande en réponse à la lumière de pompage. Le système peut également inclure un ensemble détecteur et un groupe d'optiques servant à diriger le rayonnement infrarouge sur un échantillon et à diriger une partie du rayonnement infrarouge réfléchi et/ou dispersé par l'échantillon vers l'ensemble détecteur.