SEALED RESISTIVE CHANGE ELEMENTS
Methods for scaling dimensions of resistive change elements, resistive change element arrays of scalable resistive change elements, and sealed resistive change elements are disclosed. According to some aspects of the present disclosure the methods for scaling dimensions of resistive change elements...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | Methods for scaling dimensions of resistive change elements, resistive change element arrays of scalable resistive change elements, and sealed resistive change elements are disclosed. According to some aspects of the present disclosure the methods for scaling dimensions of resistive change elements and the resistive change element arrays of scalable resistive change elements reduce the impact of overlapping materials on the switching characteristics of resistive change elements. According to some aspects of the present disclosure the methods for scaling dimensions of resistive change elements include sealing surfaces of resistive change elements. According to some aspects of the present disclosure the methods for scaling dimensions of resistive change elements include forming barriers to copper migration in a copper back end of the line.
L'invention concerne des procédés de mise à l'échelle des dimensions d'éléments à changement résistif, des réseaux d'éléments à changement résistif d'éléments à changement résistif évolutifs, et des éléments à changement résistif scellés. Selon certains aspects de la présente invention, les procédés de mise à l'échelle des dimensions d'éléments à changement résistif et des réseaux d'éléments à changement résistif d'éléments à changement résistif évolutifs réduisent l'impact de matériaux se chevauchant sur les caractéristiques de commutation des éléments à changement résistif. Selon certains aspects de la présente invention, les procédés de mise à l'échelle des dimensions d'éléments à changement résistif consistent à sceller les surfaces des éléments à changement résistif. Selon certains aspects de la présente invention, les procédés de mise à l'échelle des dimensions d'éléments à changement résistif consistent à former des barrières à la migration de cuivre dans une extrémité arrière en cuivre de la ligne. |
---|