MODULATED AIR SURFACE PARTICLE DETECTOR

A device for counting particles on a sample surface includes a scanner probe having a first opening for receiving particles from a sample surface and one or more second openings, a particle detector for detecting particles passed there-through, a modulator for modulating air flowing there-through, a pump for producing a first airstream flowing from the first opening and through the particle detector, and for producing a second airstream flowing through the modulator and to the one or more second openings, and control circuitry for controlling the modulator to modulate an amplitude of the second airstream. L'invention concerne un dispositif permettant de compter des particules sur une surface d'échantillon comprenant une sonde de scanner possédant une première ouverture permettant de recevoir des particules en provenance d'une surface d'échantillon et au moins une deuxième ouverture, un détecteur de particules permettant de détecter des particules passées à travers ce dernier, un modulateur permettant de moduler l'air s'écoulant à travers ce dernier, une pompe permettant de produire un premier courant d'air s'écoulant à partir de la première ouverture et à travers le détecteur de particules et permettant de produire un second courant d'air s'écoulant à travers le modulateur et vers ladite deuxième ouverture et un circuit de commande permettant de commander au modulateur de moduler une amplitude du second courant d'air.