CONTROL OF SILICON OXIDE OFF-GAS TO PREVENT FOULING OF GRANULAR SILICON ANNEALING SYSTEM

This disclosure concerns embodiments of an annealing device and a method for annealing granular silicon to reduce a hydrogen content of the granular silicon. The annealing device comprises at least one tube through which granular silicon is flowed downwardly. The tube includes a heating zone and (i) a residence zone below the heating zone, (ii) a cooling zone below the heating zone, or (iii) a residence zone below the heating zone and a cooling zone below the residence zone. An inert gas is flowed upwardly through the tube. The tube may be constructed from two or more tube segments. The annealing device may include a plurality of tubes arranged in parallel and housed within a shell. The annealing device and method are suitable for a continuous process. La présente invention concerne des modes de réalisation d'un dispositif de recuit et un procédé pour le recuit de silicium granulaire pour réduire la teneur en hydrogène du silicium granulaire. Le dispositif de recuit comprend au moins un tube dans lequel du silicium granulaire est amené à circuler vers le bas. Le tube comprend une zone de chauffage et (i) une zone de séjour au-dessous de la zone de chauffage, (ii) une zone de refroidissement au-dessous de la zone de chauffage ou (iii) une zone de séjour au-dessous de la zone de chauffage et une zone de refroidissement au-dessous de la zone de séjour. Un gaz inerte est amené à circuler vers le haut dans le tube. Le tube peut être construit à partir de deux ou plus de deux segments de tube. Le dispositif de recuit peut comprendre une pluralité de tubes disposés en parallèle et logés à l'intérieur d'une coque. Le dispositif et le procédé de recuit conviennent à un processus continu.