APPARATUS AND METHOD FOR MINIMIZING THERMAL DISTORTION IN ELECTRODES USED WITH ION SOURCES

An apparatus for improving the uniformity of an ion beam is disclosed. The apparatus includes a heating element to heat an edge of the suppression electrode that is located furthest from the suppression aperture. In operation, the edge of the suppression electrode nearest to the suppression electrode may be heated by the ion beam. This heat may cause the suppression electrode to distort, affecting the uniformity of the ion beam. By heating the distal edge of the suppression electrode, the thermal distortion of the suppression electrode can be controlled. In other embodiments, the distal edge of the suppression electrode is heated to create a more uniform ion beam. By monitoring the uniformity of the ion beam downstream from the suppression electrode, such as by use of a beam uniformity profiler, a controller can adjust the heat applied to the distal edge to achieve the desired ion beam uniformity. L'invention concerne un appareil permettant d'améliorer l'uniformité d'un faisceau d'ions. L'appareil comprend un élément chauffant servant à chauffer un bord le plus éloigné de l'ouverture de suppression de l'électrode de suppression. En fonctionnement, le bord de l'électrode de suppression le plus proche de l'électrode de suppression peut être chauffé au moyen du faisceau d'ions. Cette chaleur peut amener l'électrode de suppression à se déformer, altérant l'uniformité du faisceau ionique. En chauffant le bord distal de l'électrode de suppression, la déformation sous l'effet de la température de l'électrode de suppression peut être régulée. Selon d'autres modes de réalisation, le bord distal de l'électrode de suppression est chauffé de manière à créer un faisceau d'ions plus uniforme. En surveillant l'uniformité du faisceau d'ions en aval de l'électrode de suppression, par exemple à l'aide d'un profileur d'uniformité de faisceau, un dispositif de commande peut régler la chaleur appliquée au bord distal de manière à obtenir l'uniformité souhaitée du faisceau d'ions.