EXTRACTOR ELECTRODE FOR ELECTRON SOURCE

Extractors and extractor systems minimize the generation of secondary electrons which interact with and degrade the primary electron beam. This can improve the performance of an electron beam system, such as a scanning electron microscope. The extractor may include a frustoconical aperture that widens as distance from the source of the electron beam increases. The entrance into the frustoconical aperture also can include a curved edge. Des extracteurs et des systèmes d'extracteur réduisent au minimum la génération d'électrons secondaires qui interagissent avec le faisceau d'électrons primaire et le dégradent. Ceci permet d'améliorer les performances d'un système de faisceau d'électrons, tel qu'un microscope électronique à balayage. L'extracteur peut comprendre une ouverture tronconique qui s'élargit à mesure que la distance à partir de la source du faisceau d'électrons augmente. L'entrée dans l'ouverture tronconique peut également comprendre un bord incurvé.