SPECTRAL MEASUREMENT METHOD AND SPECTRAL MEASUREMENT DEVICE

Provided are a spectral measurement method and a spectral measurement device which make it possible to precisely and accurately identify the structure constituting a predetermined area in a short amount of time. The spectral measurement method includes: an irradiation step for irradiating a sample S...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: TANAKA Hideo, MATSUMURA Junichi, HOSHINO Shinichi, TSUDA Yuichiro, KAWAMURA Akinori, HARADA Yoshinori, UKON Juichiro, TAKAMATSU Tetsuro, IWAHASHI Yoshitomo, KUMAMOTO Yasuaki
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:Provided are a spectral measurement method and a spectral measurement device which make it possible to precisely and accurately identify the structure constituting a predetermined area in a short amount of time. The spectral measurement method includes: an irradiation step for irradiating a sample S with illumination light L3 for imaging, and then irradiating a plurality of locations with laser light L1, which is illumination light for spectrography; an image acquisition step for acquiring an image V made of the form of the sample S and a plurality of irradiation points of the laser light L1; a spectral measurement step for spectrally measuring light excited by the laser light L1; an image processing step for extracting, from image information in the image V of the sample S, first image areas Ar1 etc., which are image areas formed by an identical structure, and then dividing the extracted image areas as closed areas; and an area determination step for superimposing spectral measurement results onto the irradiation points of the laser light L1 in the image of the sample S which has been divided into the image areas, and then identifying the structure of each image area on the basis of the spectral measurement results of the plurality of irradiation points of the laser light L1 in each image area. La présente invention concerne un procédé de mesure spectrale et un dispositif de mesure spectrale qui permettent d'identifier précisément et exactement la structure constituant une zone prédéterminée dans un temps court. Le procédé de mesure spectrale comprend : une étape d'irradiation pour irradier un échantillon S avec une lumière d'éclairage L3 pour imagerie, puis irradier une pluralité d'emplacements avec une lumière laser L1, qui est une lumière d'éclairage pour spectrographie ; une étape d'acquisition d'image pour acquérir une image V constituée de la forme de l'échantillon S et une pluralité de points d'irradiation de la lumière laser L1 ; une étape de mesure spectrale pour mesurer spectralement la lumière excitée par la lumière laser L1 ; une étape de traitement d'image pour extraire, à partir d'informations d'image dans l'image V de l'échantillon S, des premières zones d'image Ar1, etc., qui sont des zones d'image formées par une structure identique, puis diviser les zones d'image extraites en tant que zones fermées ; et une étape de détermination de zone pour superposer des résultats de mesure spectrale sur les points d'irradiation de la lumière laser L1