PLASMA-CURING OF LIGHT-RECEIVING SURFACES OF SOLAR CELLS

Methods of fabricating solar cells using plasma-curing of light-receiving surfaces of the solar cells, and the resulting solar cells, are described. In an example, a method of fabricating a solar cell includes forming a dielectric layer on a light-receiving surface of a silicon substrate. The method also includes forming an anti-reflective coating (ARC) layer over the dielectric layer. The method also includes exposing the ARC layer to plasma-induced radiation. L'invention concerne des procédés de fabrication de cellules solaires utilisant le durcissement au plasma de surfaces de réception de lumière des cellules solaires, ainsi que les cellules solaires ainsi obtenues. Dans un exemple, un procédé de fabrication d'une cellule solaire comprend la formation d'une couche diélectrique sur une surface de réception de lumière d'un substrat de silicium. Le procédé comprend également la formation d'une couche de revêtement antireflet (ARC) sur la couche diélectrique. Le procédé comprend également l'exposition de la couche ARC à un rayonnement induit par plasma.