RAMPING OF SENSOR POWER IN A MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM DEVICE

A microelectromechanical system (MEMS) device includes at least one substrate, a lid, a MEMS component, a sensor, and a power supply. The lid is coupled to the substrate so that the substrate and the lid cooperatively define an interior cavity. The MEMS component is disposed within the interior cavity. The sensor is disposed within the interior cavity and is arranged to detect a parameter of the interior cavity. The power supply provides current to the sensor. The power supply is configured to control current during a ramp-up transition of the current and a ramp-down transition of the current such that the ramp-up transition and the ramp-down transition have attenuated high-frequency components. L'invention concerne un dispositif de type système micro-électromécanique (MEMS) comprenant au moins un substrat, un couvercle, un composant MEMS, un capteur et une alimentation électrique. Le couvercle est couplé au substrat de sorte que le substrat et le couvercle définissent en coopération une cavité intérieure. Le composant MEMS est disposé au sein de la cavité intérieure. Le capteur est disposé à l'intérieur de la cavité intérieure et est conçu pour détecter un paramètre de la cavité intérieure. L'alimentation électrique fournit du courant au capteur. L'alimentation électrique est conçue pour commander le courant pendant une transition d'accélération du courant et une transition de décélération du courant de sorte que la transition d'accélération et la transition de décélération présentent des composantes à haute fréquence atténuées.