BIASING OF ELECTROMECHANICAL SYSTEMS MICROPHONE WITH ALTERNATING-CURRENT VOLTAGE WAVEFORM

A MEMS microphone may include a backplate comprising first and second electrodes electrically isolated from one another and mechanically coupled to the backplate in a fixed relationship relative to the backplate and a diaphragm configured to displace relative to the backplate as a function of sound pressure incident upon the diaphragm, the diaphragm comprising third and fourth electrodes electrically isolated from one another and mechanically coupled to the diaphragm in a fixed relationship relative to the diaphragm such that the third and fourth electrodes displace relative to the backplate as a function of sound pressure incident upon the diaphragm. The first and third electrodes may form a first capacitor and the second and fourth electrodes may form a second capacitor, the capacitance of each which may be a function of the displacement of the diaphragm, and each of which may be biased by an alternating-current voltage waveform. La présente invention concerne un microphone à microsystèmes électromécaniques (MEMS) qui peut comporter une plaque arrière comprenant des première et deuxième électrodes isolées électriquement l'une de l'autre et couplées mécaniquement à la plaque arrière en relation fixe par rapport à la plaque arrière, et une membrane configurée pour se déplacer par rapport à la plaque arrière en fonction d'une pression acoustique incidente sur la membrane, la membrane comprenant des troisième et quatrième électrodes isolées électriquement l'une de l'autre et couplées mécaniquement à la membrane en relation fixe par rapport à la membrane de telle sorte que les troisième et quatrième électrodes se déplacent par rapport à la plaque arrière en fonction d'une pression acoustique incidente sur la membrane. Les première et troisième électrodes peuvent former un premier condensateur et les deuxième et quatrième électrodes peuvent former un second condensateur, la capacité de chacun des condensateurs peut dépendre du déplacement de la membrane, et chacun d'eux peut être polarisé par une forme d'onde de tension à courant alternatif.