MEMS SENSOR

A MEMS sensor (1) comprises a MEMS transducer (10) being coupled to a MEMS interface circuit (20). The MEMS interface circuit (20) comprises a bias voltage generator (100), a differential amplifier (200), a capacitor (300) and a feedback control circuit (400). The bias voltage generator (100) generates a bias voltage (Vbias) for operating the MEMS transducer. The variable capacitor (300) is connected to one of the input nodes (I200a) of the differential amplifier (200). At least one of the output nodes (A200a, A200b) of the differential amplifier is coupled to a base terminal (T110) of an output filter (110) of the bias voltage generator (100).Any disturbing signal from the bias voltage generator (100) is a common-mode signal that is divided equally on the input nodes (I200a, I200b) of the differential amplifier (200) and is therefore rejected. Un capteur MEMS (1) comprend un transducteur MEMS (10) couplé à un circuit d'interface MEMS (20). Le circuit d'interface MEMS (20) comprend un générateur de tension de polarisation (100), un amplificateur différentiel (200), un condensateur (300) et un circuit de commande de rétroaction (400). Le générateur de tension de polarisation (100) génère une tension de polarisation (Vbias) pour faire fonctionner le transducteur MEMS. Le condensateur variable (300) est connecté à l'un des nœuds d'entrée (I200a) de l'amplificateur différentiel (200). Au moins un des nœuds de sortie (A200a, A200b) de l'amplificateur différentiel est couplé à une borne de base (T110) d'un filtre de sortie (110) du générateur de tension de polarisation (100). Tout signal perturbateur provenant du générateur de tension de polarisation (100) est un signal en mode commun qui est divisé de manière égale sur les nœuds d'entrée (I200a, I200b) de l'amplificateur différentiel (200) et est donc rejeté.