ACCELEROMETER SENSOR

A capacitive accelerometer sensor including first and second substrates is disclosed, wherein the first substrate comprises a resilient membrane having at least one first electrode and a proof mass attached to the resilient membrane; the second substrate includes at least one second electrode; and the first and second substrates are bonded to each other such that the first electrode of the resilient membrane on the first substrate faces the second electrode and is separated from the second electrode on the second substrate by a capacitive gap; and the first and second substrates comprise a plurality of openings and electrical contacts electrically connected to each of the first and second electrodes, respectively. L'invention concerne un capteur d'accéléromètre capacitif comprenant des premier et second substrats, le premier substrat comprenant une membrane élastique ayant au moins une première électrode et une masse étalon fixée à la membrane élastique ; le second substrat comprend au moins une seconde électrode ; et les premier et second substrats sont liés l'un à l'autre de telle sorte que la première électrode de la membrane élastique sur le premier substrat fasse face à la seconde électrode et soit séparée de la seconde électrode sur le second substrat par un espace capacitif ; et les premier et second substrats comprennent une pluralité d'ouvertures et des contacts électriques électriquement connectés à chacune des première et seconde électrodes, respectivement.