A PRESSURE CONTROL VALVE, A FLUID HANDLING STRUCTURE FOR LITHOGRAPHIC APPARATUS AND A LITHOGRAPHIC APPARATUS

A pressure control valve comprising: a passageway (210) having a portion defining an opening (220) for the flow of liquid and/or gas (215) therethrough; an obstructing member (230) displaceable relative to the opening for obstructing the opening by differing amounts thereby to regulate a volumetric flow rate of liquid and/or gas through the opening; a piezo actuator (250); and a linkage mechanism (400) adapted to amplify a magnitude of a dimensional change in the piezo actuator and to use the amplified dimensional change to displace the obstructing member relative to the opening, wherein the linkage mechanism comprises a frame (500) attached to a wall and fixed at a first end (510) in relation to the passageway, a movable portion (508) of the frame moveable in a first direction whilst being substantially restrained in a second direction orthogonal to the first direction, the piezo actuator extending between the wall and the moveable portion such that an expansion of the piezo actuator results in movement of the moveable portion in the first direction by an amount greater than the expansion of the piezo actuator, the moveable portion connected to the obstructing member. La présente invention a trait à une soupape de régulation de pression qui comprend : un passage (210) ayant une partie qui délimite une ouverture (220) pour l'écoulement d'un liquide et/ou d'un gaz (215) à travers celle-ci ; un élément d'obstruction (230) pouvant être déplacé par rapport à l'ouverture pour obstruer l'ouverture selon des quantités différentes, ce qui permet de réguler un débit volumétrique de liquide et/ou de gaz à travers l'ouverture ; un actionneur piézoélectrique (250) ; et un mécanisme de liaison (400) conçu pour amplifier l'ampleur d'un changement dimensionnel de l'actionneur piézoélectrique et pour utiliser le changement dimensionnel amplifié afin de déplacer l'élément d'obstruction par rapport à ladite ouverture. Le mécanisme de liaison comporte un cadre (500) qui est solidaire d'une paroi et fixé à une première extrémité (510) par rapport au passage, une partie mobile (508) du cadre qui peut être déplacée dans une première direction tout en étant sensiblement limitée dans une seconde direction perpendiculaire à la première direction. Cet actionneur piézoélectrique s'étend entre la paroi et la partie mobile de telle sorte qu'une extension de l'actionneur piézoélectrique entraîne le déplacement de la partie mobile dans la première direction selon une quantité supérieure