DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING DEFINED PROPERTIES OF GRADIENT LAYERS IN A SYSTEM OF MULTILAYERED COATINGS IN SPUTTERING INSTALLATIONS

Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung definierter Eigenschaften von Gradientenschichten in einem System mehrlagiger Beschichtungen bei Sputter-Anlagen mit den folgenden Merkmalen: a) ein in einem gemeinsamen Prozessraum angeordnetes Kathodenpaar, bestehend aus einem ersten Kathodenkörper und ein...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	KLEIDEITER, Gerd, FIUKOWSKI, Joerg
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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