DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING DEFINED PROPERTIES OF GRADIENT LAYERS IN A SYSTEM OF MULTILAYERED COATINGS IN SPUTTERING INSTALLATIONS

Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung definierter Eigenschaften von Gradientenschichten in einem System mehrlagiger Beschichtungen bei Sputter-Anlagen mit den folgenden Merkmalen: a) ein in einem gemeinsamen Prozessraum angeordnetes Kathodenpaar, bestehend aus einem ersten Kathodenkörper und einem zweiten Kathodenkörper, wird mittels einer gemeinsamen Stromversorgung mit Gleichstrom versorgt, wobei der Gleichstrom vor dem Eintritt in den Prozessraum in eine Impulsfolge mit abwechselnd positiven und negativen Impulsen mit zwischenliegenden Impulspausen umgewandelt wird, b) eine Anordnung zur Steuerung der Länge der einzelnen Impulse und der Dauer der jeweiligen Impulspausen. Device and method for producing defined properties of gradient layers in a system of multilayered coatings in sputtering installations with the following features: a) a pair of cathodes arranged in a common process chamber and consisting of a first cathode body and a second cathode body is supplied with direct current by means of a common power supply, wherein, before entering the process chamber, the direct current is converted into a series of pulses comprising alternating positive and negative pulses with interpulse periods in between, b) an arrangement for controlling the length of the individual pulses and the duration of the respective interpulse periods. L'invention concerne un dispositif et un procédé d'élaboration de propriétés définies de couches à gradient d'un système de revêtement multicouche dans le cas d'installations de pulvérisation cathodique, comprenant : a) une paire de cathodes constituées d'un premier corps cathodique et d'un deuxième corps cathodique, ladite paire étant disposée dans un compartiment de traitement commun et étant alimentée en courant continu par une alimentation en électricité commune ; en amont de l'entrée dans le compartiment de traitement, le courant continu est transformé en une séquence d'impulsions positives et d'impulsions négatives alternées et séparées de pauses intermédiaires, b) un agencement destiné à la commande de la longueur des impulsions individuelles et de la durée des pauses respectives séparant les impulsions.