MICROMECHANICAL SENSOR COMPRISING A STRESS DECOUPLING STRUCTURE

Mikromechanischer Sensor (100), aufweisend: - ein Substrat (10); eine auf dem Substrat (10) angeordnete erste Funktionsschicht (20); - eine auf der ersten Funktionsschicht (20) angeordnete zweite Funktionsschicht (30) mit beweglichen mikromechanischen Strukturen (31); eine im Substrat (10) unterhalb...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	BEINTNER, Jochen, SCHELLING, Christoph
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS TRANSPORTING
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