CHEMICAL MECHANICAL POLISHING TOOL WITH ROBOT ACCESS TO CASSETTES

A semiconductor fabrication system includes a chemical mechanical polishing system, a cassette holding area enclosed by a wall and having a door openable by an operator to place one or more cassettes into the cassette holding area, a robot configured to transfer substrates between a cassette in the cassette holding area to the chemical mechanical polishing system, a computer controller configured to cause the robot to move to a home position, a circuit breaker in a power supply line to the robot, a door sensor to detect whether the door is open, a robot presence sensor to detect whether the robot is in the home position, and control circuitry configured to receive signals from the door sensor and the robot presence sensor and cause the circuit breaker to cut power to the robot if the door is open and the robot is not in the home position. L'invention concerne un système de fabrication de semi-conducteur comprenant un système de polissage chimico-mécanique, une zone de maintien de cassette enserrée par une paroi et ayant une porte pouvant être ouverte par un opérateur pour placer une ou plusieurs cassettes dans la zone de maintien de cassette, un robot configuré pour transférer des substrats entre une cassette dans la zone de maintien de cassette et le système de polissage chimico-mécanique, un dispositif de commande informatique configuré pour amener le robot à se déplacer vers une position de repos, un disjoncteur dans une ligne d'alimentation électrique au robot, un capteur de porte pour détecter si la porte est ouverte, un capteur de présence de robot pour détecter si le robot est dans la position de repos et un ensemble de circuits de commande conçu pour recevoir des signaux provenant du capteur de porte et du capteur de présence de robot et amener le disjoncteur à couper l'alimentation au robot si la porte est ouverte et que le robot n'est pas dans la position de repos.