OFFLINE VISION ASSIST METHOD AND APPARATUS FOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE VISION ALIGNMENT
An offline vision assisted calibration system includes: a bottom side socket assembly that is mountable in an integrated circuit device handler and comprises: a socket plate that comprises a hole grid array; and a top contactor assembly that is mountable in an integrated circuit device handler and c...
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | An offline vision assisted calibration system includes: a bottom side socket assembly that is mountable in an integrated circuit device handler and comprises: a socket plate that comprises a hole grid array; and a top contactor assembly that is mountable in an integrated circuit device handler and comprises: a guide plate, a plurality of fiducials located on a lower side surface of the guide plate, a contact holder plate comprising a top contactor contact array, and a plurality of adjustment actuators configured to move the contact holder plate with respect to the guide plate; and a calibration jig comprising an array of contacts on a bottom side thereof, wherein the calibration jig is configured to be placed in the socket plate such that the contacts engage with the hole grid array of the socket plate.
L'invention concerne un système d'étalonnage assisté par la vision hors ligne comprenant : un ensemble socle côté fond qui peut être monté dans un manipulateur de dispositif à circuit intégré et comprend : une plaque de socle qui comprend un réseau de grille de trous ; et un ensemble contacteur supérieur pouvant être monté dans un manipulateur de dispositif à circuit intégré et comprenant : une plaque de guidage, une pluralité de repères situés sur une surface latérale inférieure de la plaque de guidage, une plaque de support de contact comprenant un réseau de contacts de contacteur supérieur et une pluralité d'actionneurs de réglage conçus pour déplacer la plaque de support de contact par rapport à la plaque de guidage ; et un gabarit d'étalonnage comprenant un réseau de contacts sur un côté inférieur de celui-ci, le gabarit d'étalonnage étant conçu pour être placé dans la plaque de socle de sorte que les contacts viennent en prise avec le réseau de grille de trous de la plaque de socle. |
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