PRESSURE SENSOR AND PRESSURE SENSOR MODULE

Provided is a pressure sensor 1 as a pressure sensor having a simple structure and excellent pressure resistance, said pressure sensor being provided with: a first detection unit, which is provided in a first region, and which detects the absolute value of the pressure of a first medium; a second de...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: GOCHO, Hideki, SEJIMO, Kazushige, OKAWA, Hisanobu, KERA, Chiaki
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:Provided is a pressure sensor 1 as a pressure sensor having a simple structure and excellent pressure resistance, said pressure sensor being provided with: a first detection unit, which is provided in a first region, and which detects the absolute value of the pressure of a first medium; a second detection unit, which is provided in a second region separated from the first region, and which detects the absolute value of the pressure of a second medium that is different from the first medium; and an operation unit that performs operation of obtaining a difference between the first pressure value detected by the first detection unit, and the second pressure value detected by the second detection unit. La présente invention concerne un capteur de pression 1 en tant que capteur de pression ayant une structure simple et une excellente résistance à la pression, ledit capteur de pression étant pourvu de : une première unité de détection, qui est disposée dans une première région, et qui détecte la valeur absolue de la pression d'un premier milieu ; une deuxième unité de détection, qui est disposée dans une deuxième région séparée de la première région, et qui détecte la valeur absolue de la pression d'un deuxième milieu qui est différent du premier milieu ; et une unité d'opération qui exécute l'opération d'obtention d'une différence entre la première valeur de pression détectée par la première unité de détection et la deuxième valeur de pression détectée par la deuxième unité de détection. 構造が簡単で耐圧性に優れた圧力センサとして、第1領域内に設けられ、第1媒体の圧力の絶対値を検出する第1検出部と、第1領域から離隔した第2領域内に設けられ、第1媒体とは異なる第2媒体の圧力の絶対値を検出する第2検出部と、第1検出部によって検出した第1圧力値と第2検出部で検出した第2圧力値との差分を求める演算を行う演算部と、を備えた圧力センサ1が提供される。