DIFFRACTION METHOD FOR MEASURING LINEAR SIZE OF OBJECT

The invention relates to monitoring/measurement technology and may be used for measuring the linear (transverse) size of various objects, for instance microwire or fiber, gaps or slits, micro-apertures and round screens having micron-sizes, and also suspensions of microparticles or biological suspensions. The problem which the present invention aims to solve consists in significantly reducing the influence, on the results of measuring the size of an object, of uneven distribution of the amplitude of an irradiating field in the plane of an object to be measured. The problem is solved during a measurement-information extraction stage, by using inflection points in an oscillating signal, which signal is generated when registering a diffraction pattern, the positions of which are robust to a change in the unevenness of distribution of the amplitude of an irradiating field in the plane of an object to be measured. L'invention concerne des équipements de mesure et de contrôle et peut être utilisée pour mesurer la taille linéaire (transversale) de différents objets, par exemple, d'un fil métallique ou fibre microscopique, des fentes ou des interstices, des écrans de feuille ronde, ainsi que de suspensions de microparticules et des suspensions biologiques. L'objectif visé par l'invention consiste à réduire sensiblement l'effet sur les résultats de mesure de la taille de l'objet de l'irrégularité de répartition de l'amplitude du champ irradiant dans le plan de l'objet mesuré. L'objectif visé est résolu au stade de calcul des informations de mesure grâce à l'utilisation des points de pli dans le signal oscillant qui apparait lors de l'enregistrement du tableau de diffraction dont le position est robuste par rapport à la variation de l'irrégularité de répartition de l'amplitude du champ irradiant dans le plan de l'objet mesuré. Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения линейного (поперечного) размера различных объектов, например микропроволоки или волокна, зазоров или щелей, микроотверстий и экранов круглой формы с микронными размерами, а так же взвесей микрочастиц или биологических взвесей. Задача, на решение которой направлено настоящее изобретение, является существенное уменьшение влияния на результат измерения размера объекта неравномерности распределения амплитуды облучающего поля в плоскости измеряемого объекта. Поставленная задача решается на этапе выделения измерительной информации, за счет использования