METHODS, SYSTEMS, AND APPARATUS FOR MASS FLOW VERIFICATION BASED ON CHOKED FLOW

Mass flow verification systems and apparatus may verify mass flow rates of mass flow controllers (MFCs) based on choked flow principles. These systems and apparatus may include a plurality of differently-sized flow restrictors coupled in parallel. A wide range of flow rates may be verified via selection of a flow path through one of the flow restrictors based on an MFC's set point. Mass flow rates may be determined via pressure and temperature measurements upstream of the flow restrictors under choked flow conditions. Methods of verifying a mass flow rate based on choked flow principles are also provided, as are other aspects. La présente invention concerne des systèmes et un appareil de vérification de débit massique qui peuvent vérifier des débits massiques de régulateurs de débit massique (MFC) selon des principes de débit étranglé. Ces systèmes et cet appareil peuvent comprendre une pluralité de réducteurs de débit de tailles différentes accouplés en parallèle. Une large gamme de débits peut être vérifiée par sélection d'un trajet de débit à travers l'un des limiteurs de débit en fonction d'un point de consigne du MFC. Les débits massiques peuvent être déterminés par l'intermédiaire de mesures de pression et de température en amont des limiteurs de débit dans des conditions de débit étranglé. Des procédés de vérification de débit massique selon des principes de débit étranglé sont également décrits, ainsi que d'autres aspects.